據(jù)了解，每當(dāng)一個凈化工程完工以后，都必須要進行高效過濾器的掃描檢漏：0.3μm以上粒子連續(xù)增加為0個。這樣檢漏的目的是檢查高效過濾器的安裝及與凈化車間的接縫處，有無破損和裂縫，有無塵埃泄漏。

　　檢測器：Lasair-110、測定用的臺車等。

　　試驗條件：動力空調(diào)系統(tǒng)運行良好，環(huán)境滿足凈化要求。

　　測定點：全部高效過濾器。

　　測定方法：高效過濾器區(qū)域。

　　采樣口與高效過濾器的距離30 mm，掃描速度50 mm/s。

　　檢查高效過濾器的平面及周邊有無塵埃泄漏。

　　b)沉降粒子

　　標(biāo)準(zhǔn)：粒子總數(shù)增加不超過100個，塵埃的增加數(shù)<100個，當(dāng)超出規(guī)格時，需再檢一次。試驗條件：動力空調(diào)系統(tǒng)運行良好，環(huán)境滿足凈化要求。

　　測定方法：將符合要求的參考片水平放硅片盒上;經(jīng)過24 h后，測定并計算塵埃數(shù)之差。

　　c)浮游粒子

　　標(biāo)準(zhǔn)：作業(yè)室0.3μm以上粒子<35個/CF，用力室0.5μm以上粒子<1000個/CF。

　　測定方法：將激光粒子計數(shù)器的采樣流量調(diào)整到1CFM，連續(xù)檢測3 min，取平均值，測定高度在工作面區(qū)域約為800 mm~1200 mm。

　　此方法是工程中經(jīng)常采用的方法。

　　一般情況下，最末一級高效過濾器的過濾效率決定凈化間的潔凈度級別，以0.3μm、100級潔凈間的空氣凈化系統(tǒng)為例分析，工程實踐中一般要選擇0.12μm、99.999%的ULPA。

　　外氣經(jīng)過噴淋，又經(jīng)過高效過濾器和超高效過濾器后，檢測凈化間的塵埃分布為：0.1μm~0.3μm的塵埃為8.76個/ft3;大于等于0.3μm的塵埃為35個/ft3。與表1比較發(fā)現(xiàn)可以滿足凈化間的凈化級別。因此，選擇最末一級過濾器的過濾效率對滿足凈化間的凈化級別有重要的意義。